主要特点：

1. 清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染；
2. 上开启式结构，方便观察试样；
3. 产品采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示；
4. 可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果；
5. 稳定的射频电源，均匀的温度分布，提高成膜质量；

产品型号

NBD-PECVD1200-50T2-N

电气规格

AC220V 3KW   射频功率：300或500瓦 13.56Mhz

1200 ℃ （<1小时）

连续温度

1100 ℃ （连续）

可达加热速率

≤20 ℃/分钟

加热区长度

200mm+200mm（两个加热温区分别加热，分体式设计使温度梯度可以达到极限）

炉管尺寸

Φ50*1800mm

射频线圈